Первая миля - научно-технический журнал - Материалы тега

главная

eng

Вход

Архив журнала

Журналы

Медиаданные

Редакционная политика

Авторам

Контакты

© 2001-2024
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

R&W

ISSN 2070-8963

Книги по связи

Тег "microfluidic"

Первая миля #8/2021
М.Белокрылов, А. Козлов, Ю.Константинов
ОСОБЕННОСТИ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ НИОБАТА ЛИТИЯ ДЛЯ СОЗДАНИЯ ИНТЕГРАЛЬНО-ОПТИЧЕСКИХ МОДУЛЯТОРОВ С ГРЕБЕНЧАТЫМИ ВОЛНОВОДАМИ

DOI: 10.22184/2070-8963.2021.100.8.62.67 Работа посвящена исследованию особенностей травления поверхности ниобата лития во фторсодержащей плазме с повышенным расходом гексафторида серы и аргона без использования принудительного термостатирования подложкодержателя на установке ЭТНА-100-ПТ-1 с целью разработки технологии создания гребенчатых волноводов и других поверхностных структур. Измерена скорость травления. С помощью сканирующей электронной микроскопии изучена структура протравленной поверхности и сколотый торец образца. Достигнуты высокие скорости травления приповерхностного слоя: от 250 до 950 нм/мин.

Аналитика #2/2017
К.Гордеев, И.Шахнович, А.Шишкин
Oт контроля продукции до культивирования клеток. Передовые решения на выставке analytica 2016

В заключительной части репортажа с международной выставки аналитического и лабораторного оборудования analytica 2016 (Мюнхен) ведущие мировые компании-приборостроители рассказывают о наиболее интересных и перспективных инструментальных решениях в области элементного анализа, наук о жизни, нанотехнологий и пробоподготовки. DOI: 10.22184/2227-572X.2017.33.2.38.65