Первая миля #8/2021
М.Белокрылов, А. Козлов, Ю.Константинов
ОСОБЕННОСТИ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ НИОБАТА ЛИТИЯ ДЛЯ СОЗДАНИЯ ИНТЕГРАЛЬНО-ОПТИЧЕСКИХ МОДУЛЯТОРОВ С ГРЕБЕНЧАТЫМИ ВОЛНОВОДАМИ
DOI: 10.22184/2070-8963.2021.100.8.62.67 Работа посвящена исследованию особенностей травления поверхности ниобата лития во фторсодержащей плазме с повышенным расходом гексафторида серы и аргона без использования принудительного термостатирования подложкодержателя на установке ЭТНА-100-ПТ-1 с целью разработки технологии создания гребенчатых волноводов и других поверхностных структур. Измерена скорость травления. С помощью сканирующей электронной микроскопии изучена структура протравленной поверхности и сколотый торец образца. Достигнуты высокие скорости травления приповерхностного слоя: от 250 до 950 нм/мин.
Первая миля #3/2020
Д.Шевцов, Ю.Константинов, М.Белокрылов, Р.Пономарев
ОПТИМАЛЬНЫЕ ПАРАМЕТРЫ СБОРА ДАННЫХ ПРИ ТЕМПЕРАТУРНОМ ИССЛЕДОВАНИИ ИНТЕГРАЛЬНО-ОПТИЧЕСКИХ МОДУЛЯТОРОВ МЕТОДОМ РЕФЛЕКТОМЕТРИИ ЧАСТОТНОЙ ОБЛАСТИ
DOI: 10.22184/2070-8963.2020.88.3.48.53 Эмпирическими и имитационными методами исследованы процессы изменения фазы излучения в интегрально-оптических модуляторах на подложке из ниобата лития, а также волоконных световодах, состыкованных с ними. Для проведения исследования использованы интегрально-оптические фазовые модуляторы на подложке из ниобата лития, демонстрирующие эффект прекращения каналирования фундаментальной моды волновода на резких температурных градиентах при нагреве из области низких температур, и волоконные световоды со спровоцированными температурными деформациями. Построена компьютерная модель процесса.